ALD饱和度曲线-开放数据

ALD饱和度曲线-开放数据

在横向高纵横比测试结构上测量的ALD过程饱和度轮廓的数据库。 

策划人：

里卡普鲁嫩

策展政策：

（第一版说明-待修改）

要包含的新上传内容需要

• 准确识别测试结构的类型和尺寸
• ALD工艺细节（温度，反应物，流量，反应器信息）
• 厚度测定方法信息
• 厚度轮廓数据，最好包括原始原始数据  
• 优选地：ALD工艺的日期和厚度测量的日期 
• 数据集和/或要上传的文件的创建者  

 

 

创建时间：

2020年8月6日

收割API：

OAI-PMH接口

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