ALD饱和度曲线-开放数据

新上传

ALD饱和度曲线-开放数据

在横向高纵横比测试结构上测量的ALD过程饱和度轮廓的数据库。 


策划人:
里卡普鲁嫩
策展政策:

(第一版说明-待修改)

要包含的新上传内容需要

  • 准确识别测试结构的类型和尺寸
  • ALD工艺细节(温度,反应物,流量,反应器信息)
  • 厚度测定方法信息
  • 厚度轮廓数据,最好包括原始原始数据  
  • 优选地:ALD工艺的日期和厚度测量的日期 
  • 数据集和/或要上传的文件的创建者  

 

 

创建时间:
2020年8月6日
收割API:
OAI-PMH接口

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